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养牛技术 倘若异国林本坚 就异国今天的台积电

发布时间:2019-11-21 00:18 作者:admin 来源:未知 点击:97 字号:

  来源:商业周刊

  他转折了全球半导体产业技术路径,让晚年迈英特尔(Intel)及设备商艾斯摩尔(ASML)、尼康(Nikon)等业内巨头,屏舍消耗逾10 亿美元和数年的钻研心力,跟着他与台积电一首转曲。 不光全球半导体制程得以去下推进6 到7 个世代,约14 年时光,台积电也所以跻身一线大厂、主导业界规格。

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  他是中研院院士林本坚,台积电前研发副总经理。 台积电董事长张忠谋曾称,倘若异国林本坚及其团队,‘台积电的微影(半导体关键制程之一)不会有今天这周围。 ’

  退息后在清华大学担任特聘钻研讲座教授的林本坚,近日出版他第一本半自传式著作,并与吾们一首重温以前他是如何扭转乾坤。

  林本坚在越南出生,至芳华期才来台湾肄业,措辞语调细柔,以前属下昵称他‘Burn(其英文名)爷爷’。 他待人平易,但对所自夸的事物和理念,却不轻言退让。

  一沙一世界、一纳米一宇宙

  时间回溯到2002年,林本坚受邀参添一场国际光电学会技术钻研会,会中他发外这项发现,语惊四座,由于那时的半导体设备商众研发焦点放在如何一连干式机台的生命,并已消耗数十亿美元进走开发。林本坚的理论无疑是在业界投出一颗炸弹,但通过他众数钻研会竭力奔走、追求与设备商配相符,末了,台积电在2004年与ASML共同完善开发全球第一台润式微影机台,让业界在震惊之余也刮此刻相望。

  方今,浸润式显影不光是英特尔(Intel)等半导体龙头、设备商所认定的跨入45纳米制程之后的解决方案,也已正式纳入国际半导体蓝图架组成为主流。

  林本坚曾说,22纳米制程之后众重直接式电子束(E-Beam Direct Write)将是最佳解决方案,他说航太工程的演进给了他很众灵感,他神奇地比喻,此刻前很众设备商投入的EUV设备就像是太空梭相通成本太腾贵,又不正当载客,E-Beam就是向不必要飞走跑道的直升机,不妨直接空降在晶圆上,容易又相符成本收好。望来“一沙一世界、一纳米一宇宙”这句话用在他身上再洽当也不过了。

  他的挑案,同业主管批搅局

  ‘虽千万人,吾去矣! ’林本坚如此形容他2002 到 04 年那改写历史的一役。

  那时状况是云云的:随着半导体制程去下演进,关键制程之一的微影,也得赓续缩幼光束波长。 一向以来,业界民俗以空气为序言,是‘干式’的微影,但此技术却已‘撞墙’,在157 纳米波长卡关。 而那时任职台积电的林本坚却跳脱框架,璧还157 纳米波长的上一世代,改用水做为介质,发展出‘浸润式微影’技术,让光束波长一举缩幼至134 纳米,突破瓶颈。

  云云的破框思想,首初却是孤独,甚至遭受敌意。

  因其他业者已投入共计逾十亿美元研发经费在干式显影上,亲昵那时台积电一整年的资本支出。 林本坚的理论若被采用,等于宣告其他人前功尽舍。 台积电前共同营运长蒋尚义为林本坚写序:‘(以前)实在有大公司的高层主管外达重要关切,憧憬吾能管管他(林本坚),不要搅局。 ’

  他工作前,会推演到穷尽

  对内,林本坚要让蒋尚义和张忠谋等主管埋单,对外,则要说服业界丢舍原有投入。

  他的秘诀,是‘彻底’2 字,彻底的思考,并彻底实走。 ‘像下棋相通,要先想好后面好几步,’林本坚说,工作前,推演至穷尽,是他一向以来的民俗,‘把一切不妨一向想下去,(直到)想不到不妨。 ’

  一位曾和林本坚走过那一役的台积电主管记得,首初逆对方常在国际钻研会上与台积电以眼还眼,质疑以水做为介质易产生污浊,且水中的气泡会影响曝光等等。对外界疑心有备而来的林本坚,决定更彻底解决,便带着团队在半年内完善三篇论文,投稿到国际期刊,连还未被挑出的质疑也一并设想、相答。 ‘正本一个美国大厂的代外说他们绝不必这技术,养牛技术效果一个(半导体制程)世代后,他们也用了。 ’

  除了论理,林本坚的疏导也做得彻底,那时他跑遍美国、日本、荷兰与德国等地,逐一拜会业界,促使艾斯摩尔与尼康等厂商转向。 他说,疏导,是他从张忠谋身上学到重要的一课。

  从他2000 年添入台积电以来,张忠谋每一季便固定与三级主管们分两梯次共进午餐,与副总经理们则每月聚会。 会中张忠谋与主管们可从公司发展聊到国际政经情势,包括台积电最中央的‘真挚清廉’、‘应允’等价值,也在其中凝结,‘董事长会鼓励行家问他题目,未必候行家问得好,他就很起劲的回答,什么都不吃了。 ’

  ‘想得彻底、做得彻底,是他的民俗,’和林本坚牵手50 年的妻子黄修慧举例,他担任教会诗班指挥,很众成员不拿手读五线谱,遇到重复段落的符号,常遗忘回头重唱,清淡指挥会赓续纠正挑醒,但林本坚则彻底解决题目,重新誊打歌谱, 把重复符号后的谱直接写出来,让一切人能顺当唱下去。

  他彻底,但遇题目更懂绕道

  不过,林本坚的‘彻底’带着巧劲,他认为遇到难得,未必不妨先停下、歇息,甚至绕道,再提高,会比只是遵命古人道路,一味的‘愚公移山’好。 当初他挑出浸润式微影,就是绕出业界的惯常道路,迸出灵光。

  ‘他常说,想象不妨无穷,只是实际行使时,要正经,他从来不收敛工程师的任何思想,’前述台积电主管外示,林本坚相等鼓励属下想象,如此才不妨创新。

  两年前最先在大学任教后,林本坚也如此期许门生,不要成为填鸭造就‘凶补的仆从’。 他鼓励门生们配相符,规定有些作业必须组队完善,就像他以前扭转半导体规则,虽由他一人挑出思想,后续却必要张忠谋与蒋尚义等人的声援,并在外找到盟友,才能实践划时代的技术。

  ‘吾憧憬能尽量把一些有价值的事传承给下一代,’和写书的初衷相通,今年76 岁的林本坚,要赓续以私塾做为平台,传授思考与实践之道。

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  来源:界面新闻

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